微型無(wú)線溫度記錄器光刻系統(tǒng)是制造芯片的核心裝備，其中溫度的檢測(cè)尤為重要，溫度會(huì)影響光刻膠流動(dòng)，從而影響光刻的成品率。微型無(wú)線溫度記錄器體積微小，重量輕，攜帶方便。適用于曝光系統(tǒng)，光刻系統(tǒng)等的溫度檢測(cè)記錄。 產(chǎn)品特點(diǎn) 1. 體積微小、靈活通用； 2. 溫度準(zhǔn)確度小于10mK； 3. 采用無(wú)線通訊方式，響應(yīng)時(shí)間短，可連續(xù)工作時(shí)間超過(guò)10天。 產(chǎn)品尺寸 長(zhǎng)20mm×寬

掩膜無(wú)線測(cè)溫系統(tǒng)光掩膜又稱光罩，是微電子制造中光刻工藝所使用的圖形母版，由不透明的遮光薄膜在透明基板上形成掩膜圖形，并通過(guò)曝光將圖形轉(zhuǎn)印到產(chǎn)品基板上。在半導(dǎo)體芯片加工制造過(guò)程中,光掩膜版表面的溫度均勻性要求非常高，需要嚴(yán)格的溫度測(cè)量和控制。掩膜無(wú)線測(cè)溫系統(tǒng)用于準(zhǔn)確測(cè)量光掩膜版的溫度分布。

便攜式氮?dú)夥治鰞xGPR-1200C適用于需要用先進(jìn)高精度儀表在規(guī)定測(cè)量點(diǎn)控制微量氧氣或氣體純度的應(yīng)用。采用緊 湊而堅(jiān)固的外殼、不銹鋼氣路材質(zhì)、一體式流量計(jì)和針閥，可對(duì)惰性氣體、二氧化碳和氧氣進(jìn)行純度測(cè)量。 客戶可以利用四通閥將樣氣捕集到傳感器中，在移動(dòng)中更快地測(cè)量氧氣含量。這樣還能有效保護(hù)微量氧傳感 器，防止由于暴露在環(huán)境氧水平中而過(guò)早損耗。具有更長(zhǎng)的傳感器壽命， 因此能降低運(yùn)行成本和擁有成本。

高精度鉑電阻溫度傳感器 產(chǎn)品概述 高精度鉑電阻溫度探頭采用行業(yè)的真空 PVD 沉積、 MEMS 精密加工等技術(shù)，已經(jīng)完成 -70℃ ～ 1000℃寬溫區(qū)傳感器芯片國(guó)產(chǎn)化。主要技術(shù)指標(biāo)達(dá)到進(jìn)口產(chǎn)品水平，具備 MEMS 加工先進(jìn)技術(shù)裝備和工藝， 可以為客戶提供 MEMS 工藝代加工和傳感器芯片開(kāi)發(fā)合作業(yè)務(wù)?？捎糜诟黝悆x器儀表制造業(yè)和制造各種溫 度傳感器，更適合對(duì)溫度測(cè)量精度

堆棧式溫度測(cè)量?jī)x是公司國(guó)產(chǎn)化儀表，國(guó)產(chǎn)化率 100%，對(duì)標(biāo) 1560。它由一個(gè)主控制器及附加測(cè)溫模塊組成，內(nèi)置 ITS90 溫標(biāo)，能直觀顯示溫度、電阻，具備圖形、統(tǒng)計(jì)、存儲(chǔ)功能?？蓪?shí)時(shí)顯示測(cè)量數(shù)據(jù)，如通道間差值、標(biāo)準(zhǔn)偏差、均值、最大值、最小值等，并可圖形化監(jiān)視溫度變化。支持單個(gè)或多個(gè)測(cè)量模塊與主機(jī)組合測(cè)溫，帶內(nèi)部時(shí)鐘，可標(biāo)記測(cè)量結(jié)果的時(shí)間和日期。主要應(yīng)用于溫度分布測(cè)試、溫度檢驗(yàn)、傳感器校準(zhǔn)等

RTD Wafer 晶圓有線測(cè)溫系統(tǒng) 儀表化晶圓（熱電偶或RTD）適用于半導(dǎo)體加工設(shè)備，在這些設(shè)備中，了解和控制晶圓表面的溫度至關(guān)重要。

漏液傳感器LUP系列 主體材質(zhì):PP(聚丙烯)電纜材質(zhì):PVC(聚氯乙烯)檢測(cè)液體:水，油，酒精，部分有機(jī)物液體等。

液壓流量壓力溫度轉(zhuǎn)速曲線液壓測(cè)試儀屏幕或通過(guò)PC聯(lián)機(jī)軟件可以顯示各類分析曲線，可以打印報(bào)表，是種完整的現(xiàn)場(chǎng)調(diào)試、采集設(shè)備。 適合工程師現(xiàn)場(chǎng)或出差調(diào)試，測(cè)試用； 適合中型試驗(yàn)臺(tái)； 具備硬件濾波，適合噪聲環(huán)境用； 液壓測(cè)試儀可以壓力、流量、溫度、轉(zhuǎn)速數(shù)字顯示、時(shí)間曲線、XY曲線等實(shí)時(shí)或離線數(shù)據(jù)與曲線； 液壓測(cè)試儀是種多功能的測(cè)試和控制系統(tǒng)，是種穩(wěn)定、可靠的定型測(cè)控產(chǎn)品，適合工程機(jī)械現(xiàn)場(chǎng)在線調(diào)試，測(cè)試用

鈍化膜測(cè)試儀Oxilyser3新模式，從2009年8月無(wú)源測(cè)試，將會(huì)向市場(chǎng)推出。此為被動(dòng)測(cè)試方法已成為在航運(yùn)業(yè)方面的被動(dòng)測(cè)試和表面狀態(tài)的不銹鋼罐的標(biāo)準(zhǔn)。此外酸洗和鈍化公司，以及不銹鋼加工商，經(jīng)常使用的Oxilyser。

高壓氣體粒子計(jì)數(shù)器 高技術(shù)生產(chǎn)工藝通常要求高純度氣體。HPGP-101-C高壓氣體探頭為在線壓力下的工藝氣體提供可靠的在線污染監(jiān)測(cè)。HPGP-101-C高壓氣體探頭和氧氣、氫氣以及大多數(shù)無(wú)害氣體相匹配，它可以應(yīng)用于多種活性氣體監(jiān)測(cè)。HPGP-101-C高壓氣體探頭會(huì)在影響產(chǎn)量之前，加快工藝氣體分配系統(tǒng)的資格確認(rèn)，監(jiān)測(cè)氣體中的粒子。