ALICAT 氣體質(zhì)量流量計(jì)

技術(shù)指標(biāo)

介質(zhì)要求    非腐蝕性、潔凈、干燥的氣體

介質(zhì)種類(lèi)    內(nèi)置了98種氣體，請(qǐng)參考背面

            一臺(tái)設(shè)備內(nèi)置所有氣體，用戶(hù)可現(xiàn)場(chǎng)選擇

量    程    從0 - 0.5 SCCM 到 0 - 6000 SLPM

測(cè)量范圍    0.01～100%滿(mǎn)量程

最大顯示流量    128 % 滿(mǎn)量程

顯 示 屏    帶背光燈按鍵，標(biāo)準(zhǔn)為L(zhǎng)CD顯示屏，可選TFT彩色顯示屏

顯示方式    同時(shí)顯示質(zhì)量流量、體積流量、壓力、溫度

精    度    ± （0.8 % 讀數(shù) + 0.2 % 滿(mǎn)量程）精度升級(jí)部分見(jiàn)左下角

            ± （0.4 % 讀數(shù) + 0.2 % 滿(mǎn)量程）（可選）

累計(jì)流量精度    流量精度之外增加± 0.5 %讀數(shù)額外誤差

重 復(fù) 性    ± （0.2 %讀數(shù)+0.02 %滿(mǎn)量程）

質(zhì)量流量溫度零點(diǎn)和滿(mǎn)量程漂移    0.02%滿(mǎn)量程/ ℃（從25℃開(kāi)始）

質(zhì)量流量壓力零點(diǎn)和滿(mǎn)量程漂移    ±（0.08 % 讀數(shù) + 0.02 % 滿(mǎn)量程）/ Atm（從校準(zhǔn)壓力開(kāi)始）

響應(yīng)時(shí)間    優(yōu)于10 ms （與流量相關(guān)）  

預(yù)熱時(shí)間    < 1 s

默認(rèn)標(biāo)況（STP）    25 ℃&1Atm（其它標(biāo)況可調(diào)）

工作溫度    -10 ～ 60 ℃（可選高溫/低溫選項(xiàng)）

溫度精度    ± 0.75 ℃

工作濕度    0 ～ 95%，無(wú)冷凝

最大工作壓力    1 MPa 表壓（可選2 MPaG高壓系列）

最di操作壓力    如果不做真空特殊標(biāo)定，建議在絕壓80 KPa以上使用；

其他真空壓力建議做特殊標(biāo)定

壓力精度    ± 0.5 % 讀數(shù)（讀數(shù)＞1 Atm），或 ± 0.07 PSIA（＜1Atm）

最大進(jìn)出口壓差    0.5MPa

滿(mǎn)量程壓損    參考詳細(xì)壓損表

數(shù)據(jù)刷新頻率    數(shù)字信號(hào)40 Hz@ 19200波特率；

                模擬信號(hào)：1000 Hz

屏幕刷新頻率    10 Hz

數(shù)字輸入/輸出信號(hào)    RS232、RS485、Modbus RTU（RS232/RS485）、Modbus TCP/IP、

                     DeviceNet、EtherCAT、EtherNet/IP、Profibus

模擬輸入/輸出信號(hào)    0-5 VDC、1-5 VDC、0-10 VDC、4-20 mA

可選第二路模擬輸出    質(zhì)量流量、體積流量、壓力、溫度

模擬信號(hào)精度    在基礎(chǔ)誤差上額外增加 ± 0.1 % 滿(mǎn)量程誤差

供電電壓    9-24 VDC （如選4 - 20 mA或0-10VDC輸出，須為12 - 24VDC）

供電電流    40mA，額外加 40 mA（ 4 - 20 mA或0-10VDC輸出）

電氣接口    DB9M，可選DB15、6針工業(yè)接頭、8針Mini-DIN等

泄漏率（外漏）    選擇HLC選項(xiàng)，泄漏率可低至1 x 10-9Atm cc/s He

材    質(zhì)   302、303、304、316L不銹鋼、FKM、硅橡膠、環(huán)氧樹(shù)脂、聚酰胺、玻璃、硅、金、陶瓷  

過(guò)程連接    詳情參考?jí)簱p表

安裝方式    對(duì)位置無(wú)要求

防護(hù)等級(jí)    IP40

認(rèn)    證    ISO 9001、NIST溯源認(rèn)證、CE、RoHS、REACH、CSA （可選）